不久前举行的中心经济作业会议，清晰布置了2021年全国经济作业的八项要点任务，其中就说到“卡脖子”的问题：增强工业链供给链自主可控才能，赶快处理一批“卡脖子”问题，搞出更多独门绝技。处理“卡脖子”问题，要害要依托科技立异，想要真实在国际商场中有底气、不被迫，唯有具有自主的中心技能。

　　我国恩菲工程技能有限公司（以下简称“我国恩菲”或“公司”）自20世纪90年代就敞开了硅基资料的研制和工业化之路。面临国外技能封闭、工业轻视、言论镇压等多重困难，我国恩菲经过十多年的静心攻关，具有了自主知识产权的低成本、低能耗、大规模高纯度多晶硅资料制备技能，并在技能立异范畴完成许多职业打破，脱节对外依靠。

　　十多年前，恩菲人作为民族多晶硅的开拓者，使我国光伏职业脱节了受制于人的晦气局势，完成了从光伏大国向强国的人物改变；今日，我国中心集成电路国产芯片缺少自主才能的“丧命短板”使得我国电子信息工业遭受了“卡脖子”的严峻形势，也令上游资料范畴遭到高度重视，有人描述，芯片之战的本质是根据多晶硅资料之上的比赛，尤其是电子级高纯多晶硅和区熔级多晶硅的商场却长时间被美国、德国、日本独占。现在，因为中心环节技能未能打破，我国在这两个范畴面临着一如多年前光伏工业受制于人的局势。

　　相关技能在外、中心产品进口，我国高端电子信息技能工业、人工智能乃至国家安全都会遭到要挟。机会偏心有预备的脑筋，未来的机会虽不可知，但愿望能够带动举动的脚步提早筹谋。面临“新战争”的国家呼唤，恩菲人又聚力高端，抱着“硅业报国”之心，再一次踏上了为国研制的路途，开端了高端硅基资料的研制作业，为完成“高精尖之梦”而尽力，向着助力我国电子信息工业兴起的新征途进发。

　　从光伏用多晶硅到芯片用多晶硅，看似仅仅对产品纯度的要求愈加严苛，但是在精密提纯这条路途上，从纯度99.9%到99.9999999999%（12N），小数点后每添加一位的技能难度，都出现指数型增加的曲线。也正是因为现在国家在相关范畴难以达到这个高纯度的要求，导致本身受制于人，而完成这个方针需求的是多方尽力的合力。

　　技能上，从氢气的制备及纯化、质料TCS组成、副产品四氯化硅氢化、精馏、复原、尾气收回和产品后处理……每一个环节、每一项工艺，从理论研讨、实验点评炉检测，到应用于复原炉的试出产，再到整个车间、体系的安稳出产，要阅历很多参数数据的核算、比照、推翻、再确认的进程，也要经过很多“严酷”的自我否定和一次次曙光的点滴行进。

　　产品立异离不开配备的晋级，高纯电子级多晶硅是制备集成芯片的要害资料，区熔级多晶硅首要应用于高电压大功率器材和特种芯片，常应用在军工等重要范畴。但是，没有好的设备做不出好的产品，要完成产品自有，设备的自主立异是绕不开的，因而，我国恩菲为出产出高纯度的产品，从设备质料、炉型结构、管道选型、外表选型、洁净室等级都要高于半导体技能标准要求进行严格操控。经过改造后的车间，成为了一个“奥秘基地”，在这里，每一个螺丝、每一节管道、每一个阀门、每一种质料的挑选，都要经过技能人员重复的琢磨和验证，在这里，也只需特定人员指纹解码方可进入。

　　经过自主开发的电子级多晶硅动态循环梯级别离提纯技能，打破了高效三氯氢硅精馏技能、进程气体干法收回和超纯氢气纯化技能、高纯多晶硅复原技能、产品高纯后处理技能与检测办法、杂质含量工程化操控技能等要害技能，现在电子级多晶硅产品现已完成了批量出产与试用，处理了电子工业根底范畴的要害资料根底薄弱的问题，为相关信息工业集聚开展供给根底支撑。

　　芯片的出产制作是杂乱的，其杂乱和困难程度相当于在一个指甲盖上建一座规划精巧的城市，一块小小的电路芯片就有100多亿个晶体管，晶体管经过纳米线相连，加工工艺包括外延、光刻、气相堆积、离子注入、分散、刻蚀、清洗等等，多达几千道工序衔接在一起，除了原资料硅料的超高纯外，还需求100多种高纯的电子气体对其进行结构和塑形。这傍边，硅基电子特气占比近半，他们的质量与安稳供给直接影响半导体集成电路芯片的质量、功能和企业生计。

　　但是，现在全球半导体用电子气体商场也相同出现出寡头竞赛的格式，许多气体在国内的出产仍是空白。只需这些中心技能被国外操控，即使处理了原资料问题，芯片技能的自主国产化也很难完成！

　　在多晶硅出产工艺中，中心环节便是操控好在复原炉内的“成长”，这个进程反响杂乱，生成棒状多晶硅的一起，还产生了副产四氯化硅、氯化氢、二氯二氢硅、三氯氢硅、六氯乙硅烷、六氯乙硅氧烷等化合物，因为复原炉内硼磷及金属杂质含量要求低至ppb级乃至ppt级，因而，多晶硅出产进程中的副产品纯度也很高。所以，这些低杂质副产化合物更适合用来作为硅基电子特气的质料。

　　这些气体还需求进行深加工，正是这个深加工的工艺，是国内气体工业的技能瓶颈。我国恩菲对出产工艺途径进行了后续的优化处理，比如反响精馏、催化组成等量身打造的专有工艺“深加工”流程，富丽转身为“电子特气”。而这些电子特气便是此前说到的芯片工艺制作进程中有必要运用的气体。

　　自2015年，我国恩菲就开端做这方面的技能储备，经过数年研制，经过不断的技能改造与提高，重复探索和优化工艺参数，连续处理了光通讯职业用高纯四氯化硅提纯、检测、充装及贮存等技能难题，产品的顺畅出产与出售，成功打破了国外近20年的独占，该产品也成为自主研制出产的电子特气正硅酸乙酯的重要原资料。

　　在集成电路用电子特气研讨方面，成功从多晶硅共出产品中别离和精制出电子级六氯乙硅烷，该产品作为前驱体广泛应用在先进的12英寸集成电路芯片薄膜成长工艺上，产品附加值极高，现在中硅已成为六氯乙硅烷合格供给商。别的，电子级三氯氢硅、电子级二氯二氢硅的研制并投产成功，完成供给国产化。

　　在研制集成电路工业用硅基电子气体的一起，还进行了配套的全自动充装技能、体系、检测技能的研制作业。现在现已成功研制了高纯全自动充装技能与体系。

　　芯片虽小，却是“国之利器”。在芯片这条巨大的工业链上，我国恩菲研制的效果，从全面国产化的“巨大工程”体量上看，或许还仅仅星火之势，但立异的大门现已敞开，就没有不持续朝着愿望行进的道理。

　　接下来的开展中，我国恩菲一方面依托区熔级多晶硅出产，研制包括更多品种硅基电子气体产品、化学机械抛光（CMP）磨料、光刻胶等半导体用根底原资料，另一方面瞄准的是更高的方针，那便是新一代高良品率、高安稳性的芯片用半导体资料的研制。

　　勇攀顶峰，不是为了让国际看见，而是为了看见国际。以更广更宽的视界，走他人没有走过的路，发明引领国际潮流的科技效果，然后致力于科研效果的工业化，做更大更强的工作，让科技效果走进千家万户，真实地成为国家实力，不孤负年代赋予的任务，这也是我国恩菲据守的硅业报国的愿望。路漫漫其修远兮，在为国“芯”上下求索奋勇赶上的路途上，恩菲人敢为前锋、一往无前！

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